行業(yè)動(dòng)態(tài)

涂膠顯影機(jī)設(shè)備的產(chǎn)能設(shè)計(jì)

　　涂膠顯影設(shè)備的產(chǎn)能設(shè)計(jì)是一個(gè)重要部分,通過(guò)對(duì)機(jī)臺(tái)的工藝時(shí)間參數(shù)、工藝處理周期時(shí)間參數(shù)、工藝傳遞周期時(shí)間參數(shù)等核心參數(shù)的設(shè)計(jì),有效地配置工藝處理模塊的數(shù)量及位置、工藝傳遞晶圓的速度及路線,搭建出目標(biāo)機(jī)臺(tái)內(nèi)的工藝模塊組成架構(gòu),確定出目標(biāo)機(jī)臺(tái)內(nèi)的各個(gè)機(jī)器人技術(shù)參數(shù),滿足與光刻機(jī)聯(lián)線生產(chǎn)的量產(chǎn)涂膠顯影機(jī)對(duì)產(chǎn)能的技術(shù)需求。