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噴膠機(jī)

獨(dú)立超聲噴涂機(jī)臺(tái)

TDM1200/800/600
M 型噴膠產(chǎn)品
M 型架構(gòu)產(chǎn)品滿足半自動(dòng)半導(dǎo)體超聲噴涂光阻工藝生產(chǎn)需要，單元模塊化設(shè)計(jì)，可選配多種噴膠功能部件，滿足半導(dǎo)體高端封裝/MEMS/光學(xué)模組/柔性基板/不規(guī)則基材等不同噴涂光阻工藝生產(chǎn)的客戶需求

　　M 型架構(gòu)產(chǎn)品滿足半自動(dòng)半導(dǎo)體超聲噴涂光阻工藝生產(chǎn)需要，單元模塊化設(shè)計(jì)，可選配多種噴膠功能部件，滿足半導(dǎo)體高端封裝/MEMS/光學(xué)模組/柔性基板/不規(guī)則基材等不同噴涂光阻工藝生產(chǎn)的客戶需求。
　　. 適用于 6 英寸，8 英寸或 12 英寸晶圓≤500mm 方片等產(chǎn)品
　　. 基材：硅晶圓、玻璃、陶瓷、柔性薄膜、金屬等
　　. 適用于膠膜厚度 0.8-20um 噴涂工藝產(chǎn)品生產(chǎn)
　　. 模塊化的單元便于維護(hù)
　　. 圖形化的人機(jī)交互界面

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