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工藝測(cè)試機(jī)

中道濕法機(jī)臺(tái)

TDW1200/800/600
W 型產(chǎn)品
W 型架構(gòu)產(chǎn)品滿足半導(dǎo)體濕法清洗工藝生產(chǎn)需要，單元模塊環(huán)繞 Robot 設(shè)計(jì)，可選配多種濕法清洗功能部件，滿足半導(dǎo)體前道/高端封裝/MEMS/LED 等不同清洗工藝生產(chǎn)的客戶需求

　　W 型架構(gòu)產(chǎn)品滿足半導(dǎo)體濕法清洗工藝生產(chǎn)需要，單元模塊環(huán)繞 Robot 設(shè)計(jì)，可選配多種濕法清洗功能部件，滿足半導(dǎo)體前道/高端封裝/MEMS/LED 等不同清洗工藝生產(chǎn)的客戶需求。
　　. 適用于 6 英寸，8 英寸或 12 英寸產(chǎn)品
　　. 基材：硅晶圓、玻璃等
　　. 適用于 single wafer 濕法清洗工藝產(chǎn)品生產(chǎn)
　　. 模塊化的單元便于維護(hù)
　　. 圖形化的人機(jī)交互界面

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