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涂膠顯影機(jī)的加熱裝置

　　涂膠顯影機(jī)加熱位置都是貼在熱板上，透過(guò)熱傳導(dǎo)的方式對(duì)晶圓進(jìn)行加熱，每個(gè)熱板同時(shí)只有一個(gè)加熱溫度。若遇到溫度改變也即晶圓需要經(jīng)過(guò)不同的工藝溫度的處理時(shí)，就會(huì)需要時(shí)間來(lái)做溫度的切換，如果遇到溫度落差比較大的時(shí)候，升降溫的過(guò)程中晶圓將會(huì)停止傳送，這會(huì)嚴(yán)重的影響到生產(chǎn)速率。
　　晶圓在加熱時(shí)放置在所述頂針的頂部，所述熱板提供加熱源，從所述熱板的表面往上的空間范圍內(nèi)在抽氣氣流的作用下溫度逐漸降低，通過(guò)所述步進(jìn)馬達(dá)控制所述頂針頂部的位置來(lái)設(shè)定所述晶圓所處的空間位置并進(jìn)而設(shè)置所述晶圓的工藝溫度。