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濕法去膠機(jī)的技術(shù)背景

去膠工藝是半導(dǎo)體行業(yè)必不可少的工藝流程，去膠的目的是快速有效的去膠而不影響下面的各層材料。很久以前，去膠設(shè)備技術(shù)落后、體積龐大、浪費(fèi)清洗劑且清洗不到位，在清洗過程中噴灑不均勻還會(huì)對(duì)其他零部件造成損壞。針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，濕法去膠機(jī)的出現(xiàn)，解決了這個(gè)問題。不僅提供了自動(dòng)單片濕法去膠機(jī)，而且也解決了現(xiàn)有去膠機(jī)對(duì)晶圓時(shí)去膠效率慢、去膠全面性不足，且還需要多次返工去膠，進(jìn)一步影響工作人員工作效率的問題。

晶圓片加工過程中，蝕刻后在晶圓上常常存留殘余的膠體，這時(shí)常常通過浸泡的方式將晶圓片上膠體去除。在濕法浸泡去膠的過程中，經(jīng)常會(huì)產(chǎn)生大量有害氣體，因此需要對(duì)浸泡晶圓片的浸泡池進(jìn)行密封，同時(shí)需要在浸泡設(shè)備中添加抽氣結(jié)構(gòu)。針對(duì)以上問題，濕法去膠機(jī)可以快速取換晶圓片的晶圓濕法浸液式去膠機(jī)。

濕法去膠機(jī)的技術(shù)原理主要是利用溶劑對(duì)膠接層進(jìn)行溶解和清洗，從而達(dá)到去除膠接層的目的。濕法去膠機(jī)通常采用有機(jī)溶劑作為清洗介質(zhì)，這些溶劑能夠有效地溶解和去除各種類型的膠接層，如環(huán)氧樹脂、聚氨酯、丙烯酸等。

濕法去膠機(jī)的工作過程一般包括以下幾個(gè)步驟：

1. 將待處理的工件放入去膠機(jī)的清洗槽中。

2. 向清洗槽中注入適量的溶劑，使溶劑能夠充分浸泡工件。

3. 啟動(dòng)去膠機(jī)的攪拌裝置，使溶劑在清洗槽中循環(huán)流動(dòng)，以增強(qiáng)清洗效果。

4. 控制清洗時(shí)間和溫度，讓溶劑與膠接層充分作用，達(dá)到去除膠接層的目的。

5. 清洗完成后，將工件取出，用清水沖洗干凈，以去除殘留的溶劑和污染物。

6. 然后，將工件進(jìn)行干燥處理，以確保其表面干燥。

需要注意的是，濕法去膠機(jī)在使用過程中需要注意安全，避免溶劑接觸皮膚和眼睛，同時(shí)要做好通風(fēng)措施，以防止溶劑揮發(fā)產(chǎn)生的有害氣體對(duì)人體造成傷害。此外，不同類型的膠接層需要選擇不同的溶劑進(jìn)行清洗，否則可能會(huì)導(dǎo)致清洗效果不好或者對(duì)工件造成損害。