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涂膠顯影設(shè)備是干什么活的

國產(chǎn)涂膠顯影設(shè)備是干什么活的？簡單的說就是把光刻膠均勻撒在硅片表面，然后烤一烤生成超薄膠膜；在光刻機完成曝光后，再進行圖形的顯影，所以要與光刻機設(shè)備聯(lián)機作業(yè)。

作為光刻機的輸入(曝光前光刻膠涂覆)和輸出(曝光后圖形的顯影)，涂膠/顯影機的性能不僅直接影響到細微曝光圖案的形成，其顯影工藝的圖形質(zhì)量和缺陷控制對后續(xù)諸如蝕刻、離子注入等諸多工藝中圖形轉(zhuǎn)移的結(jié)果也有深刻影響。

荷蘭EUV光刻機一直拖延供貨，國產(chǎn)光刻機等設(shè)備大力研發(fā)中，相信我們的中國科技精英一定會不負眾望逐一打破西方的封鎖。