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C型產(chǎn)品
C型架構產(chǎn)品滿足中等量產(chǎn)需要，單元模塊環(huán)繞Robot設計，Coater/Developer/AD/HP/CP等單元靈活組合，可選輔助功能配件實現(xiàn)不同工藝生產(chǎn)需求，滿足半導體前道/高端封裝/MEMS/LED等不同工藝生產(chǎn)的客戶

　　C型架構產(chǎn)品滿足中等量產(chǎn)需要，單元模塊環(huán)繞Robot設計，Coater/Developer/AD/HP/CP等單元靈活組合，可選輔助功能配件實現(xiàn)不同工藝生產(chǎn)需求，滿足半導體前道/高端封裝/MEMS/LED等不同工藝生產(chǎn)的客戶需求。

　　. 適用于6英寸，8英寸或12英寸產(chǎn)品。

　　. 基材：硅晶圓，玻璃，藍寶石片，砷化鎵等（柔性基材需要特殊定制）。

　　. 適用于Krf，i-line，etc產(chǎn)品生產(chǎn)。

　　. 適用于Package，PI，SOD，etc產(chǎn)品生產(chǎn)。

　　. 模塊化的單元便于維護。

　　. 圖形化的人機交互界面。

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