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涂膠顯影機(jī)

前道涂膠顯影機(jī)

TDF1200/800/
F 型產(chǎn)品
F 型架構(gòu)產(chǎn)品滿足大規(guī)模量產(chǎn)需要，多層單元模塊化設(shè)計(jì)，Coater/Developer/AD/HP/CP等單元靈活組合，可選輔助功能配件實(shí)現(xiàn)不同工藝生產(chǎn)需求，可選與光刻機(jī)聯(lián)線功能，滿足半導(dǎo)體前道/高端封裝/MEMS 等不同工藝生產(chǎn)的客戶需求

　　F 型架構(gòu)產(chǎn)品滿足大規(guī)模量產(chǎn)需要，多層單元模塊化設(shè)計(jì)，Coater/Developer/AD/HP/CP等單元靈活組合，可選輔助功能配件實(shí)現(xiàn)不同工藝生產(chǎn)需求，可選與光刻機(jī)聯(lián)線功能，滿足半導(dǎo)體前道/高端封裝/MEMS 等不同工藝生產(chǎn)的客戶需求。

　　. 適用于 8 英寸或 12 英寸產(chǎn)品

　　. 基材：硅晶圓，玻璃

　　. 適用于 front-end，Krf，i-line，等產(chǎn)品生產(chǎn)

　　. 適用于 Advantage Package，PI，SOD，等產(chǎn)品生產(chǎn)

　　. 模塊化的單元便于維護(hù)

　　. 圖形化的人機(jī)交互界面

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